18)真空容器の排気
技術情報メモ17では真空計の分類とピラニ真空計を紹介しました。ここでは真空をつくる場合に必要となる真空容器の排気の基本的な考え方について紹介します。
図1は真空容器、導管及び真空ポンプからなる排気系を示したものです。この図を基にして真空容器内の圧力が指数関数的に減少することを説明します。
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図1
真空容器の排気系
V:容器の容積
P:容器内の圧力
S:真空ポンプの排気速度
真空容器の排気の基本的な考え方