19)気体の流れとコンダクタンス
技術情報メモ17では真空計の分類とピラニ真空計、技術情報メモ18では真空をつくる場合に必要となる真空容器の排気の基本的な考え方について紹介しました。ここでは気体の流れとコンダクタンスについて紹介します。
図1は真空容器、導管及び真空ポンプからなる排気系を示したものです。この図を基にして気体の流れとコンダクタンスについて説明します。
当事務所では人間行動に起因する事故・品質トラブルの未然防止をお手伝いします。また、ものづくりの現場の皆様の声を真摯に受け止め、ものづくりの現場における労働安全の構築と品質の作り込みをサポートします。 (2013.6.11)
図1
真空容器の排気系
(出典:真空ハンドブック
改訂版V、ULVAC、
なお、当事務所で説明用文字、記号を追記しています)
真空中の気体の流れとコンダクタンス
(真空技術活用マニュアル、真空ハンドブックなどを参考にしています)